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DAD321
DAD3350
DFD6361
LAD5100 8寸半自动划片机

LAD5100 8寸半自动划片机

用于8寸晶圆的加工,配置1.8kw大功率直流主轴;高刚性门式结构;θ轴DD马达驱动;进口高精度丝杠、导轨;双镜头对准;软件功能进一步强化;可广泛满足于各种加工需求。

特点:
√ 标配非接触测高功能(NCS)
√ 标配刀痕检测功能
√ 选配刀片破损检测功能(BBD)
√ 选配工件形状检测功能
√ 选配数据扫描录入功能

技术参数:

配置与性能

加工尺寸

φ250mm或□250mm

切槽深度

≤4mm或定制

工作台平整度

±0.005mm/200mm

对准系统

双镜头,直光﹢环光

主轴

装配方式

龙门式单主轴

转速范围

6000~60000rpm

输出功率

直流,1.8KW

X轴

驱动方式

伺服电机

切割左右行程

260mm

行程分辨率

0.001mm

速度设定范围

0.1~600mm/s

Y轴

驱动方式

伺服电机﹢光栅闭环控制系统

切割前后行程

280mm

行程分辨率

0.0001mm

单步定位精度

≤0.002mm/5mm

全程定位精度

≤0.005mm/260mm

Z轴

驱动方式

伺服电机

主轴上下行程

40mm

行程分辨率

0.0001mm

重复定位精度

0.001mm

θ轴

驱动方式

DD马达

转角范围

380°

转角分辨率

0.0002°

基础规格

电源

三相,AC380±5%

压缩空气

压力0.5~0.6Mpa,最大消耗量260L/min

切削水

压力0.2~0.3Mpa,最大消耗量4.0L/min

冷却水

压力0.2~0.3Mpa,最大消耗量1.5L/min

排风量

5.0m3/min(ANR)

外形尺寸W×D×H

900mm×1050mm×1800mm

重量

1200kg


使用条件:
1. 请将机器设在20~25℃的环境中(波动范围控制在±1℃以内);室内湿度40%~60%,保持恒定,无凝结。
2. 请使用大气压露点在-15℃以下,残余油份为0.1ppm,过滤度在0.01um/99.5以上的清洁压缩空气。
3. 请将切削水的水温控制为室温+2℃(波动范围在±1℃以内),冷却水的水温控制为与室温相同(波动范围控制在±1℃以内)。
4. 请避免设备受到重力撞击以及外界任何振动威胁。另外,请不要将设备装在鼓风机、通风口、产生高温的装置以及产生油污的装置附近。
5.请把本设备安装在有防水性地板以及有排水处理的场所。
6.请严格按照本公司产品使用说明书进行操作。

应用领域:LED封装、QFN、BGA、光学光电、通讯
可精密切割材料:硅片、PCB、陶瓷、玻璃、铌酸锂、氧化铝、石英

主要产品:划片机 | 划片刀 | DAD321 | DAD3350 | DFD6361
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