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划片刀的选择和优化 

立朵科技   2022-06-28 10:03:08 作者:SystemMaster

       划片刀又称金刚石划片刀,包含三个主要元素:金刚石颗粒的大小、密度和粘结材料。金刚石颗粒在晶圆的切割过程中起着研磨剂的作用,通常是由CBN(Cubic Boron Nitride)合成而来。金刚石颗粒尺寸从2um到8um之间变化。为达到更好的切割质量,通常选用带棱角的金刚石颗粒。金刚石颗粒的密度代表着金刚石颗粒占金刚石刀片的体积比。通常划片刀片供应商都会提供不同的金刚石颗粒密度以适应不同的应用场合。金属镍被用作粘结剂,将金刚石颗粒粘结在一起。

       划片刀的选择一般来说要兼顾切割质量、切割刀片寿命和生产成本。金刚石颗粒尺寸影响划片刀的寿命和切割质量。较大的金刚石颗粒度可以在相同的刀具转速下,磨去更多的硅材料,因而刀具的寿命可以得到延长。然而,它会降低切割质量(尤其是正面崩角和金属/ILD得分层)。所以,对金刚石颗粒大小的选择要兼顾切割质量和制造成本。

       金刚石颗粒的密度对切割质量的控制也十分关键。对于相同的金刚石颗粒大小但具有不同密度的刀片,划片刀每一个旋转周期移去的硅材料是相同的,但是,平均到每一个金刚石颗粒移去的硅材料的量是不同的。实验发现,高密度的金刚石颗粒可以延长划片刀的寿命,同时也可以减少晶圆背面崩角。而低密度的金刚石颗粒可以减少正面崩角。硬的粘结材料可以更好地“固定”金刚石颗粒,因而可以提高划片刀的寿命,而软的粘结材料能够加速金刚石颗粒的“自我锋利“效应,令金刚石颗粒保持尖锐的棱角形状,因而可以减小晶圆的正面崩角或分层,但代价是划片刀寿命的缩短。刀锋的长度应根据晶圆的厚度,承载薄膜的厚度,最大允许的崩角的尺寸来进行定义,刀锋不能选得过长,因为长的刀锋会在切割时引起刀片的摆动,会导致较大的崩角。

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